气浮导轨简介
气浮导轨基于气体静压技术，实现无摩擦、无振动的平滑直线往复运动。其利用气膜的匀化性能，介于导向轨的制作精度基础再次提升滑动部件的直线运行精度。可配备直线电机或伺服丝杆模组，实现自动控制驱动方式，外接直线光栅尺，可形成运动闭环反馈，实现精准定位。该产品广泛用于精密加工、光学测量、多轴精密设备的集成，晶圆检测、光栅刻线等领域。
技术参数：
- 直线度100mm＜0.3um。
- 供气压力0.4～0.6MPa。
- 驱动方式丝杆驱动及直线电机驱动。
- 外形可按照客户要求设计。
